제품

설명

기본정보

상품 설명

열음극 직류 플라즈마 화학 기상 증착(DCCVD) 시스템은 기존의 냉음극 글로 방전을 기반으로 하며 다이아몬드 단결정 또는 다결정 필름의 증착 및 성장에 주로 사용됩니다.

열음극 글로우 방전의 구성 범위 및 기본 특성:

열음극 직류 플라즈마 화학 기상 증착 시스템의 글로우 방전은 음극 축을 따라 양극 축을 따라 음극 글로우 층, 패러데이 다크존, 포지티브 컬럼 글로우 플라즈마 구 및 양극 글로우 층의 4개 영역으로 나눌 수 있습니다. 그 중, 음극 글로층은 대파 방전이 발생하는 음극 근처의 얇은 발광층으로, 글로 방전 과정에서 중요한 역할을 합니다. 패러데이 다크 존은 음극 존과 포지티브 컬럼 존 사이의 전이 존입니다. 전자는 음극 영역에서 충돌하여 에너지를 잃고 느린 전자는 이온화 및 여기를 일으키기에 충분하지 않으므로 빛을 방출하지 않는 어두운 영역을 나타냅니다. 양극 기둥 영역의 글로 플라즈마 볼은 글로 방전의 가장 뚜렷한 위치에 있으며 너비는 음극만큼 넓습니다. 양극 간격은 약 4/5 정도이며, 양극과 음극 간격의 변화에 ​​따라 길이도 변한다. 밝은 양극 기둥 영역과 비교하여 양극 글로우 층은 약간 더 어두운 빛을 방출합니다.

열음극, 높은 가스 압력 및 높은 전류 밀도는 열음극 글로 방전의 기본 특성으로, 이는 기존의 냉음극 글로 방전과 다릅니다. 방전 중에는 전극 사이에 글로우 강도, 색상 및 밝기의 분포가 있으며 이는 4개의 명확한 영역으로 나뉩니다. 글로우 방전은 전체 음극 표면을 덮고 방전 전압은 방전 전류가 증가함에 따라 증가합니다. 음극의 전자 방출은 열 방출과 γ 프로세스에 의해 결합되며 둘 사이의 바이어스 정도는 주로 음극 온도에 의해 결정됩니다. 음극 폐기물 구역은 글로우를 유지하는 데 사용됩니다. 광 방전에 없어서는 안 될 부분입니다. 이 영역의 두께는 매우 얇으며 전위 강하가 높기 때문에 이 영역의 전계 강도가 매우 높아 큰 파동 방전이 발생합니다. 열음극 글로 방전의 전류 밀도는 냉음극 글로 방전의 전류 밀도보다 훨씬 큽니다.

열음극 DC 플라즈마 화학 기상 증착 장비의 DCCVD 기술 매개변수: